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日本政府「フッ化水素は引き続き厳格管理対象だ」!中国向けは一部許可する


フォトレジストの輸出が1件だけ許可されたのに続き、フッ化水素の輸出も1件だけ許可されたそうだ。ただし輸出先は中国で、申請されたのは6月中旬だという。つまり審査に2カ月弱かかったことになる。それに中国向けは元々特別一括包括許可による厳格審査の対象となっていたので大して喜べる話ではない。韓国向けは引き続き厳格管理対象となるので韓国マスコミもコメント部隊も大して騒いでないようだ。

日本政府がこのほど、中国にある韓国・サムスン電子の半導体工場向けのフッ化水素輸出を許可したことが8日、分かった。日本は7月4日から、フッ化水素をはじめとする半導体、ディスプレー材料3品目の規制を強化している。同措置が取られた後、韓国半導体メーカーへのフッ化水素の輸出が許可されるのは初めて。

中国現地の複数の消息筋と業界関係者によると、日本企業が陝西省西安市にあるサムスン電子の半導体工場へのフッ化水素輸出を6月中旬に日本政府に申請し、今月5日ごろ許可を得た。フッ化水素は半導体の製造過程で、不要な部分を除去するエッチングガスとして用いられる。

日本企業はもともと、韓国向け輸出とは異なり、中国へのフッ化水素輸出は案件ごとに政府の許可を取ってきた。

ただ業界関係者は、今回許可が下りたタイミングに注目している。

7月に日本が規制を強化して以降、サムスン電子の西安工場だけでなくSKハイニックスが江蘇省無錫市に置く工場など、韓国半導体メーカーの中国拠点でもフッ化水素など材料の確保が難しくなるのではないかと懸念されていた。

このほど西安工場向けの輸出が許可されたことから、業界では、韓国メーカーの中国生産拠点を対象にした日本からの輸出は以前とほぼ変わらず進められるとの観測も出ている。とはいえ警戒を緩める雰囲気ではない。まだ最初の事例にすぎず、今後の輸出状況に留意すべきとの見方が強い。

サムスン電子はNAND型フラッシュメモリーの25%、SKハイニックスはDRAMの40%を、それぞれ中国工場で生産しているとされる。

一方、日本はこの日、輸出規制を強化した3品目の一つ、極端紫外線(EUV)フォトレジスト(半導体の基板に塗る感光剤)の対韓輸出を許可した。

いずれにせよフッ化水素は依然として対韓国輸出の許可が1件も下りていない。フォトレジストやフッ化ポリイミドがいくら許可されようが半導体は製造できなくなるんだ。


さらに、輸出を一部許可、レジストとフッ化水素で韓国の影響は大きく違う。

今回許可したレジストは半導体の回路パターンを転写する工程に使う。極端紫外線(EUV)光源など最先端プロセス向けの材料で、本格的な量産に至っておらず、そもそも韓国の半導体メーカーへの影響は少ないとみられる。一方、残る対象のうち、フッ化水素は現行のプロセスで多用し、しかも保管・貯蔵が難しいことから、輸出許可が出ないと生産計画の変更を迫られることになる。
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